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KMM系列金相工顯測量顯微鏡

儀器用途 Usage

KMM 系列是本公司全新研發的金相工顯測量顯微鏡。它采用優良的無限遠光學系統與模塊化功能設計理念,可以方便升級系統,實現偏光觀察/測量、明場/暗場觀察/測量、落射DIC與透射照明系統。結合本公司自主研發的快速測量軟件,廣泛應用于:半導體封裝、焊接貼片、FPD面板/LCMMEMS、晶片CSPLCD屏檢測和質量控制。


儀器特點 Features

采用優良的無限遠光學系統與模塊化功能設計理念.
實現偏光觀察/測量、明場/暗場觀察/測量、落射DIC與透射照明系統.

采用高精度THK導軌,傳動順暢,定位精准.
Z軸采用精密粗微調手輪,實現精准對焦(可選配自動對焦).

報表方便:測量數據自動輸出自定義報表,數據大小,公差判定一目了然


規格參數 Specifications


仪 器 型 号(Model)

KMM200

KMM300

KMM400

運動行程(mm) X*Y*Z

Travel(mm) X*Y*Z

200*100*200

300*200*200

400*300*200

工作台尺寸(mm) X*Y

Work table`s size(mm)

360*260

460*360

560*460

玻璃台尺寸(mm) X*Y

Glass table`s size(mm)

230*130

330*230

430*330

外形尺寸(mm)**

Dimension(mm)L*W*H

600*550*1000

750*650*1000

950*750*1000

儀器重量(kg)

Weight(kg)

150

200

300

X.Y.Z軸數顯解析度:0.0005mm

X.Y.Z axis digital display resolution:0.0005mm

攝像機:美國TEO 1/2" CCD攝像機

CAMERAU.S.TEO 1/2" CCD CAMERA

物鏡:5X10X20X40X80X100X

Objective lense: 5X10X20X40X80X100X

坐標示值誤差:X.Y(1.8+L/200)um Z(3+L/200)um L为被测長度,单位:mm

XY coordinates indication error (1.8+L/200)umZ coordinates indication error (3+L/200)um

L is the measusured length,unit:mm

視頻倍率:50-3000X

Video Magnification:50-3000X

物方視場:4.5-0.05mm

Object view: 4.5-0.05mm

表面光源,透射光源,同軸光源均用LED,亮度可調

Surface light source, transmission light source and coaxial light source all use LED, brightness can be adjusted.

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